隨著電子設備朝向高功率輸出與高密度組裝發展,散熱問題日益重要,市場對高導熱材料的需求也持續增加。由於電子元件多採用陶瓷或樹脂等絕緣材料,降低熱阻成為關鍵,氮化鋁(AlN)與氮化硼(BN)填料因此廣受重視。
氮化鋁(AlN)的基本特性與應用
氮化鋁是一種高度電絕緣的陶瓷材料,熱傳導主要依靠晶格聲子。其主要特性包括:
高導熱係數,約為氧化鋁的10倍
與矽相近的熱膨脹係數
高度電絕緣性
高強度,在氧化鋁陶瓷以上
耐腐蝕性,不被大多數熔融金屬弄濕
高純度,高溫也不會汙染熔融金屬
透光性,對可見光至紅外線穿透性佳
耐鹵素電漿性
基於上述特性,氮化鋁粉末廣泛應用於半導體製造(如電漿CVD部件、晶圓...
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