公開課/研討詳細內容

【日本專家】先進封裝用厚膜光阻與再配線層(RDL)形成製程

  三建技術課程

  2025/11/06(四),09:30-16:30

   台南+線上

大綱內容

(本內容為講師初擬草案,將視講師備課、蒐集資料,進一步補充,敬請期待。)

隨著生成式AI的不斷進化,龐大的資料處理需求正集中於資料中心與基地台,為了以超高速、低功耗且低損耗方式完成這些處理,對半導體晶片的要求也日益嚴苛。
因此,除了前段製程的微縮化外,後段製程的「堆疊技術(先進封裝)」正逐漸受到關注。
本次演講將聚焦於先進封裝的核心技術之一,晶片間的連接所需的再配線層(RDL, Re-Distribution Layer)形成製程,介紹其現況、需求與課題,並結合所使用的厚膜光阻劑特性,探討未來的技術展望。

1.厚膜光阻劑材料
 1.1 光阻劑的特性
 1.2 光阻劑的課題與未來展望

2.再配線層/RDL形成製程的現況、需求與課題,以及未來展望
 2.1 矽中介層型(如 CoWoS-S、I-CubeS)
 2.2 矽橋型(如 CoWoS-L、EMIB、I-CubeE)
 2.3 有機中介層型(如 CoWoS-R、R-Cube)

講師介紹

日本退役專家,業界任職期間從事IC微影製程、抗蝕劑和微細加工用材料的開發。退休後轉職學校單位,繼續研發光阻材料及EUV光阻。

■學歷
大阪大學 工學博士

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