隨著ULSI半導體元件微細化，半導體元件的製造現場中，顆粒（異物微粒子）、金屬雜質、表面吸附的化學污染（無機/有機污染導致的化學污染）等各種微小污染物，對半導體元件的良率和可靠性產生了越…
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