IC製造
【日本專家】SiC 晶圓的缺陷評估技術
3 小時
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SiC晶圓缺陷
SiC晶體缺陷種類
SiC缺陷評價
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SiC缺陷X-ray拓撲
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SiC晶圓AI檢測
SiC厚膜成長
SiC大口徑晶圓
S
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～深入解析溶液成長與質子注入技術！～ ■習得知識 ・SiC 晶體缺陷的基礎知識 ・各種缺陷評價手法的深入理解（X-ray 拓撲法、PL 法、偏光顯微鏡法等） ・缺陷對元件特性的影響與相關控制技術 ■目…
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