在電子元件製造過程中，光阻去除步驟通常需要大量使用有害化學藥液。透過將其替換為氧化力強的臭氧或還原力強的氫自由基，可以實現環境友善、安全可靠的光阻（聚合物）分解流程。從基礎面而言，氣相（…
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