三建技術課程
2026/01/16(五),09:30-16:30
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半導體轉型焦點,從前段轉向後段製程。隨著 SoIC、2.5D/3D、Chiplet、以及 CoWoS、PLP、玻璃基板等異質整合技術的崛起,封裝成為左右性能的關鍵所在。
在這樣的背景下,材料面臨著多重挑戰,包括低介電損耗、熱傳導性、低熱膨脹係數(CTE)、可靠性與成膜性等。材料的革新成為技術進展的關鍵。
本次研討會將聚焦在次世代封裝中,倍受重視的聚醯亞胺(Polyimide)材料,探討其在新型半導體封裝中的角色與未來潛力。聚醯亞胺不僅是絕緣膜,更是支撐未來半導體實裝的核心平台材料。
一、半導體產業競爭焦點的轉變
1-1 後段製程與材料設計視角的轉移
.摩爾定律的極限
.從前段製程轉向後段製程的趨勢
.材料設計成為新競爭力的關鍵
1-2 異質整合技術的發展
.SoIC、2.5D/3D、Chiplet技術
.CoWoS、CoPoS、PLP 等平台技術
.技術階層架構圖
1-3 材料的新要求與挑戰
.性能需求:低介電損耗(Df/Dk)、低熱膨脹係數、熱傳導性、低應力
.可靠性需求:界面接著性、抗濕性、耐輻射、抑制裂紋
.加工性需求:成膜性、微細圖案加工性、良率
二、聚醯亞胺薄膜的基礎特性與材料設計
2-1 化學結構與重合反應
.聚醯亞胺的基本骨架結構
.雙階段聚合反應(PAA → Imidization)
.聚合方法的差異
.代表性單體(如 PMDA、ODA、6FDA 等)
2-2 結構與功能特性的關係
.熱固性/熱可塑性/可溶性的差異
.耐熱性與分子設計的關聯
.熱導性與複合材料設計
.電氣特性(介電常數、絕緣性)
.難燃性、耐輻射性與分子結構的相關性
2-3 結構與物性的對應設計
.剛性結構 vs 柔性結構的影響
.官能基的作用(如 –CF₃, –SO₂ 等)
.利用分子設計進行物性調控
三、聚醯亞胺的加工與製程技術
3-1 薄膜與塗佈成膜技術
.溶液鑄膜法
.旋轉塗佈、噴塗等方法
3-2 表面處理與改質技術
.等離子處理(提升表面能)
.電暈處理(量產實績)
.功能性塗層(防水、導電、光學)
3-3 疊層與複合化技術
.金屬貼合(Cu/Al,應用於 FPC)
.無機薄膜蒸鍍(如 SiOx、AlOx 作為阻隔層)
3-4 微細加工技術
.氧氣等離子蝕刻(高精度圖案形成)
.可光刻型聚醯亞胺(LCD配向膜、MEMS)
.雷射加工(Via 形成、切割:熱 vs 光分解)
四、半導體封裝的應用與最新趨勢
4-1 先進封裝技術的演進
.SoIC、2.5D/3D整合、Chiplet 架構
.CoWoS、CoPoS、PLP 等技術平台
.各應用領域定位(HPC、AI、5G、車載等)
4-2 技術進展所帶來的性能要求
.高頻特性(低 Df、低介電損耗)
.熱性能(高導熱性、低CTE)
.機械特性(應力緩和、對應薄膜化)
.信賴性(抗濕性、耐輻射、長期耐久性)
4-3 聚醯亞胺在封裝中的應用與角色
.再配線層絕緣膜(低 Df 透明 PI、低應力 PI)
.緩衝層/應力釋放層(厚膜 PI、低 CTE PI)
.保護膜/鈍化層(抗濕、耐熱 PI)
.光學透過材料(透明 PI:應用於玻璃基板、光學元件)
五、因應玻璃基板時代的來臨
5-1 轉變的背景與比較
.玻璃基板興起的背景(成本、大面積、光學特性)
.Si 基板 vs 玻璃基板(CTE、成本、尺寸穩定性)
5-2 技術課題
.CTE 差異導致的應力問題
.接著性問題(玻璃表面與 PI 的界面課題)
.絕緣可靠性(濕度下的電氣性能維持)
5-3 開發動向與未來展望
.玻璃基板用 PI 的開發實例(低應力、透明 PI)
.未來展望:新挑戰與對 PI 的期待
三井化學株式會社退役專家
擁有超過35年高機能樹脂材料開發經驗,專精於耐高溫接著劑、高耐熱環氧樹脂、多官能酚類材料的設計與應用。曾長期主導電子材料領域的產品開發與客戶技術支援,尤其在電子封裝、電路基板、等應用方面具備豐富實績與深厚專業,並參與多項材料量產與可靠性評估技術導入。
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